微納加工平臺(tái)（蘇州）于2009年1月起正式對(duì)外服務(wù)，集微米、納米加工和檢測(cè)于一體，服務(wù)領(lǐng)域包括微納米電子器件、光電子器件、微納光機(jī)電系統(tǒng)、生物傳感器及生物芯片、化合物半導(dǎo)體器件等。
裝備建設(shè)投資2億多
工藝大型設(shè)備百余臺(tái)套（包括工藝加工、工藝測(cè)試和器件封裝）
超凈實(shí)驗(yàn)室5500平方米
支撐服務(wù)團(tuán)隊(duì)102人，其中研究員5人，副研究員17人
年均服務(wù)企業(yè)100余家，大學(xué)、研究所200余家
對(duì)外服務(wù)總機(jī)時(shí)70396小時(shí)，對(duì)外服務(wù)收入3561萬(wàn)元，對(duì)外培訓(xùn)2022人次
中國(guó)科學(xué)院納米器件平臺(tái)、江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合創(chuàng)新載體、江蘇省納米加工平臺(tái)、國(guó)家自然科學(xué)基金重大研究計(jì)劃納米制造的基礎(chǔ)研究聯(lián)合開放實(shí)驗(yàn)室
微納加工平臺(tái)（南昌）結(jié)合南昌產(chǎn)業(yè)需求，建設(shè)定位：應(yīng)用基礎(chǔ)和具有應(yīng)用前景的科學(xué)與技術(shù)研究，集微米、納米加工和檢測(cè)手段于一體，具有先進(jìn)的、有特色的加工裝備的研究基地；具有開發(fā)微納電子器件、微納光電子器件、微納光機(jī)電系統(tǒng)、生物傳感器及生物芯片等多功能的技術(shù)支撐體系；具有孵化器功能，為企業(yè)全方位開放的服務(wù)體系；
微納加工平臺(tái)-超凈環(huán)境
微納加工平臺(tái)-開放特色
